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干式真空泵日常維修及保養(yǎng)注意事項(xiàng)
對于整個真空泵行業(yè)來說,在未來干式真空泵 將成為行業(yè)發(fā)展的主流趨勢,雖然現(xiàn)在用的還不多,除了價格高原因外,還有用戶對干式真空泵的了解不到位,看不到帶
濟(jì)效益,下面小編就來給大家介紹一下干式真空泵維修和保養(yǎng)。
對于這些不同類型的干式真空泵,我們都渴望能夠?qū)⑵湮锢沓叽鐪p小。但這與真空泵的抽氣速率相矛盾,氣冷羅茨真空泵哪家好,因?yàn)檎婵毡玫某闅馑俾逝c真空泵的容積成正比,物理尺寸小意味著容積也小。當(dāng)然,還有一個影
速率的重要因素,那就是轉(zhuǎn)速。為了讓小尺寸的真空泵的抽氣速率與大尺寸真空泵的抽氣速率相匹配,就需要提高它的轉(zhuǎn)速。真空泵維修保養(yǎng)非常重要。而想要改變真空泵的轉(zhuǎn)速有兩種方法,一是改變
采用變頻器;二是改變齒輪箱的傳動比。其中,采用變頻器的好處是可以提供一個閉環(huán)控制,但在大負(fù)載下容易引起扭距的損失。而改變齒輪箱的傳動比是一種非常經(jīng)濟(jì)的方法,當(dāng)然,它只能提供不可控
現(xiàn)在,可以看到干式真空泵有著如此多的不同設(shè)計,它們各自有著自己的特性和優(yōu)缺點(diǎn)。一直以來,使用成本是一個影響人們選擇真空泵的重要因素。越來越多的真空泵用戶意識到也應(yīng)該將真空泵運(yùn)行
去。因?yàn)檎婵毡玫囊馔獬鲥e會引起機(jī)器的使用效率降低,影響到晶圓的生產(chǎn)和交貨期,甚至造成所加工晶圓的報廢和機(jī)器其它部件的損壞。由于螺桿式設(shè)計為單級設(shè)計,同多級泵如圓裂片式,爪式以及
在零件的使用數(shù)量上減少了60%。這使得其在穩(wěn)定性和將來的維修成本上有很大的優(yōu)勢。
綜合考慮,如果用戶認(rèn)為耗電量對他來說*為重要而氮?dú)庥昧繉λ麃碚f*不重要,那么選擇內(nèi)部壓縮型螺桿式可以是一個好的選擇。但普遍說來,對尾氣處理越來越嚴(yán)格的要求使得將來對減少氮?dú)獾挠昧?br />果你希望用單一類型的泵不經(jīng)過改變來處理各種不同的半導(dǎo)體工藝,而使得你的庫存控制簡單化,那么外部壓縮型螺桿式是你*好的選擇。
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噴嘴
噴嘴是影響真空泵性能的重要部件,存在的問題有:噴嘴裝錯、裝歪、堵塞、損壞、腐蝕和泄漏,不管采取何種預(yù)防措施,噴嘴的堵塞在所難免。一方面由于安裝蒸汽管道時,管道中殘存的鐵屑及焊渣會堵塞噴嘴;另一方面,真空泵系統(tǒng)停用時,蒸汽管道易生銹,銹斑在使用時掉落堵塞噴嘴。
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無油真空泵的保護(hù)和保養(yǎng)
無油式真空泵它的結(jié)構(gòu)簡略、操作起來也比較容易、保護(hù)方便、不會污染環(huán)境等長處。無油真空泵 耐用性好,但是做好根底的保護(hù)保養(yǎng)作業(yè)才能使之壽命更長.
怎么做好保護(hù)保養(yǎng)作業(yè):
1、應(yīng)具有充分杰出的通風(fēng)條件及低于40℃的環(huán)境溫度。
2、無水、油等液體會降落到泵上。
3、有足夠的周圍空間能便于泵的查看,保護(hù)和裝拆。
4、無塵埃及臟物的清潔場所、泵必須安裝在平整的平面上、必須確保泵不因根底不牢固而引起震動。
5、接電線時,應(yīng)注意電機(jī)銘牌上的規(guī)則接線要求。三相電泵要注意電機(jī)旋轉(zhuǎn)方向應(yīng)與泵上的標(biāo)示箭頭方向共同。
6、與泵銜接管道不宜過長和小于泵進(jìn)口徑,影響抽速,同是注意查看真空銜接管道有否漏氣。
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